반도체 산업을 위한 초저온 공정 챔버

반도체 산업을 위한 초저온 공정 챔버 - 정밀한 온도 제어 및 클린룸 환경 대응 가능.

새롭게 개발된 이 공정 챔버는 전체가 스테인리스 스틸로 제작되어 클린룸 환경에서 사용하기에 적합합니다. 자동 도어는 효율적인 제품의 반입 및 반출을 가능하게 합니다. 또한 제조 실행 시스템(SECS/GEM) 및 오버헤드 호이스트 이송 시스템(OHT)과의 연동 기능을 제공합니다. QR 코드를 통해 배치(batch)를 식별하므로 기존 생산 공정에 원활하게 통합할 수 있습니다.

반도체 산업에서의 열처리 적용 사례는 여기에서 확인하실 수 있습니다: 반도체 생산용 오븐 시스템 | Weiss Technik – vötschoven

주요 특징:

• 클린룸 내외부 설치 (ISO Class 5)
• -75°C 도달 가능
• 생산 실행 시스템(MES) 연동 (SECS/GEM)
• 오버헤드 호이스트 이송 시스템(OHT) 연동 (자동 도어)
• QR 코드를 통한 배치(Batch) 인식

기본 장비에 포함된 구성:

• 불활성 분위기 조성을 위한 질소 퍼징 
• 산소 측정 장치
• 자동 개폐문
• 급기 공기의 HEPA 필터링
• 입자 방출을 방지하기 위해 기계부 내 지속적 음압 유지